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협동 연구 장비
공동 사용 장치

협동 연구 장비

이것은 공동 연구에 사용되는 장치 그룹입니다

전기 특성/홀 효과 측정 장치

전극은 측정 샘플의 표면의 네 모서리에 형성되고, 샘플 표면에 수직 인 자기장을 적용하는 동안, 전류는 대각선으로 전달되며, 다른 대각선의 전극 사이에 생성 된 전압 (구멍 전압)이 측정된다 이것은 샘플에서 휴대용 하전 된 입자의 밀도를 추정합니다 한편, Van der Pauw 방법을 사용하여 저항성을 추정 할 수 있습니다

가변 온도 스캐닝 터널 현미경 (VT-STM)

이 장치는 원자 수준에서 나노 구조 및 초트라틴 필름 형성 과정을 관찰하는 데 사용됩니다 이러한 이유로, 구조는 주로 초고 진공 스캐닝 터널링 현미경 (STM)을 기반으로합니다 이 장치의 STM은 관찰 중에 온도를 변경할 수있는 가변 온도 유형입니다

근거리 광학 현미경 시스템

수십 ~ 100 nm의 공간 해상도로 비접촉식 측정이 가능하며, 빛의 회절 한계를 초과합니다 샘플 표면의 광학 측정 및 고르지 않은 이미지를 동시에 수행 할 수 있습니다 방출 강도 분포, 반사 측정 및 방출 스펙트럼을 측정 할 수 있습니다

매우 높은 진공 청소기 다중 교체 플라즈마 실험 장치

이 장치는 박막 생산 및 에칭과 같은 혈장 공정에서 광범위하게 사용하기 위해 도입되었으며, 샘플 도입 전달 챔버를 통해 기판 (6 인치 웨이퍼 크기)을 3 개의 혈장 생성 챔버로 진공 전환시켜 각 혈장 생성 챔버에서 공정 실험을 수행 할 수 있습니다

일반적으로 사용되는 장치

이 장치는 공동 사용 장치로서 전체 온라인 바카라에 공개됩니다 코스를 수강하면 온라인 바카라원생과 온라인 바카라원생이 사용할 수 있습니다

X-ray photoelectron 분광계 (ESCA)

소프트 X- 선 조사에 의해 방출되는 광전자의 결합 에너지를 측정하는 방법은 물질의 표면층 (1 내지 10 nm), 결합 상태, 구조 및 기능 그룹의 유형 및 양과 같은 표면 분자의 조성 요소를 결정할 수있다 또한, 원자가 밴드 스펙트럼을 측정 할 수 있으며, 조성 요소의 깊이 방향 및 화학 상태의 변화는 이온 에칭에 의해 감지 될 수있다

샘플 수평 X- 선 회절 장치 (XRD)

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분말 박막 샘플을 측정하기위한 X- 선 회절 장치 (XRD)

2022 년에 도입 된 최신 XRD 장치 완전 자동 분말 측정, 단결정 박막 측정, 잠금 곡선 측정 및 X- 선 단색 변환이 가능합니다

분말 회절 데이터베이스 및 검색

파우더 회절 파일 (PDF)은 ICDD의 JCPDS (Powder Diffraction Standards 공동위원회)에 의해 편집 및 발표 된 분말 X- 선 회절 데이터의 가장 포괄적 인 데이터베이스입니다 (국제 회절 데이터를위한 국제 센터 이는 X- 선 회절에 의해 측정 된 결과에 대해 알려진 및 알려지지 않은 물질의 식별을 허용합니다

원자력 현미경 (AFM)

이 장치는 샘플 표면에 매우 작은 레버 (캔틸레버)를 가져 와서 샘플 표면과 캔틸레버 사이에 작용하는 힘 (Interatomic Force)을 감지하여 표면 모양을 관찰합니다 금속 및 반도체, 세라믹, 유기물, 폴리머, 생물학적 샘플 등은 코팅과 같은 전처리없이 대기에서 관찰 될 수 있으며, 이는 수백만 번의 높은 배율로 샘플 표면의 고르지 않은 이미지를 초래합니다

레이저 현미경

컬러 "초-깊은"관찰이 가능하며 관찰율은 50 ~ 16,000 배입니다 색상의 "초-깊이"이미지는 흑백 사진에서 식별 할 수없는 금속 부식성 부분과 액정의 휘도 결함을 즉시 감지 할 수 있습니다 모든 표면의 "모양"을 3D 분석 할 수도 있습니다

현미경 디지털 카메라

스마트 미디어에서 현미경 (야금 및 입체 소량에 부착 될 수 있음)으로 관찰 된 기록 이미지

푸리에 변환 적외선 분광법 (FTIR)

각 분자에는 고유 진동이 있습니다 분자가 다양한 파장으로 적외선 (IR)으로 연속적으로 조사 될 때, 주로 분자의 진동 에너지에 해당하는 적외선 광선은 흡수되어 분자의 구조에 해당하는 독특한 스펙트럼을 초래합니다 분자의 구조는이 적외선 흡수 스펙트럼으로부터 분석 될 수있다 FTIR은 간섭계를 사용하여 광원으로부터 연속 광의 일부에 대한 광 경로를 제공하고, 결과 간섭계 (인터페로 그램)는 푸리에 변환되어 성분파의 스펙트럼을 얻습니다